Pracownia specjalistyczna 1100-5INZ14

Laboratorium zapewnia unikalną możliwość nauki i wykonywania najważniejszych technik przetwarzania półprzewodników w naszym uniwersyteckim pomieszczeniu typu „clean room”. Ostatecznym celem laboratorium jest wytworzenie nanostruktury. Rzeczywisty projekt, wybór materiału i pole zastosowania nanostruktury będą określane przez studentów wspólnie z opiekunem na początku kursu.

Laboratorium będzie się odbywać w Laboratorium Nanotechnologii i Struktur Półprzewodnikowych Zakładu Fizyki Ciała Stałego Wydziału Fizyki. Składać się będzie z jednego cotygodniowego czterogodzinnego bloku oraz dodatkowych, indywidualnych spotkań w Laboratorium Nanotechnologii lub innych laboratoriach Zakładu Fizyki Ciała Stałego.

Strona internetowa laboratorium:
https://nanotech.fuw.edu.pl

W ramach kursu studenci będą mieli dostęp do następującej infrastruktury:
• Clean room
• Urządzenia do litografii optycznej (Naświetlarka UV – półautomatyczny Mask-Aligner i układ do bezmaskowej fotolitografii)
• Skaningowy mikroskop elektronowy / zogniskowana wiązka jonów (FIB)
• Litografia elektronowa
• naparowywarka ze źródłem elektronowym
• układ do trawienia plazmowego (ICP)
• Mikroskop sił atomowych
• Profilometr (kontaktowy)
• Stacja do przenoszenia materiałów 2D
• Pomiary elektryczne za pomocą stacji pomiarowej (probe station)

Rzeczywisty wybór używanego sprzętu będzie zależeć od projektu i wymagań wytworzonej nanostruktury.